静电卡盘是半导体制造工艺设备中价值量占比相对较高的核心零部件。据拓荆科技招股说明书显示，2019 年至 2021Q1-Q3 静电卡盘所属的机械类零部件占拓荆科技核心原材料采购额比重维持在 25%以上，且一直处于所有零部件大类采购额比重的第一位。机械类零部件主要包括静电卡盘、加热盘、腔体等，其中静电卡盘的价值量相对较高。据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购成本的12.7%。

2月5日消息，据《日经新闻》报道，全球第三大陶瓷卫浴产品制造商——日本TOTO通过利用其在陶瓷材料领域的专业知识，已经在半导体制造所需的“静电卡盘”（Electrostatic Chucks，或称E-CHUCK、ESC）市场取得了成功。