余子明与冯素云于1972年结婚，育有两子一女，余子明当年因香港楼价高，为家人有舒适生活，早年决定举家移民加拿大温哥华，直到1997年才返港拍剧。余子明儿子曾在访问中透露，爸爸当年因要拍戏，做「太空人」经常港加两边走，每年去一次、每次留十日，又指余子明生前的最大心愿，是返回加拿大生活，因此在余子明离世后，Elvin带父亲的骨灰返加拿大安葬。