产能的扩充将需要更多的设备，这就包括了国产设备。1月2日，上海中微半导体宣布中标了9台蚀刻机，而2019全年他们中标的也不过13台。 此前，中微半导体的5nm蚀刻机也已经打入台积电的供应链。中微半导体设备公司董事长兼首席执行官尹志尧博士就指出 ...