9月9日，工业和信息化部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》的通知： 工作原理：深紫外光刻技术的革新 氟化氪光刻机与氟化氩光刻机都属于深紫外(DUV)光刻机的范畴，它们的工作原理基于利用特定波长的光源通过光学系统和投影物镜 ...

重点围绕现有龙头企业，积极布局电子束胶、深紫外线（DUV）光刻胶、极紫外线（EUV）光刻胶等高端领域产品。聚焦国产化率较低、市场需求较大的高端KrF、ArF深紫外线（DUV）光刻胶，逐步向上游树脂单体原材料、光引发剂、高纯溶剂、助剂等配套化学品领域 ...