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芯报丨中科院基于新型SiC复合衬底的低成本MOSFET取得重要进展
基于新型6英寸SiC复合衬底成功实现高性能低成本1200V SiC MOSFET。该复合衬底表现出与高质量衬底相当的缺陷密度,界面热阻低至2.8 +1.4/-0.7 m²K/GW ...