高精度定位：工作台导向部采用在小形直线导轨设备领域赢得口碑的IKO交叉滚子直线导轨，直线电机搭配高分解能线性解码器，取得高精度的定位精度。 大推力、高清洁度：采用高性能钕磁铁，具备大推力，体型小的同时能实现高速高响应的定位精度。此外 ...